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臭氧氣體輸送系統(tǒng)

臭氧氣體輸送系統(tǒng)，可產(chǎn)生超純、可靠的臭氧氣體。在清潔的半導(dǎo)體環(huán)境中，借助臭氧氣體反應(yīng)實(shí)現(xiàn)原子層沉積 (ALD) 和蝕刻 (ALE) 等薄膜沉積工藝。高純度、高濃度臭氧氣體能夠產(chǎn)生更高的薄膜密度，從而提高產(chǎn)品產(chǎn)量、產(chǎn)品性能和可靠性。

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  • 問(wèn)專家

產(chǎn)品特點(diǎn)

臭氧濃度高

氣體流量高

采用超純發(fā)生技術(shù)

無(wú)氮?dú)鈸郊蛹夹g(shù)

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